真空泵是一種裝置，其從密封體積除去氣體分子，三葉型羅茨真空泵以便留下部分后面真空。泵可以根據(jù)三種技能進(jìn)行大致分類容積式泵使用一種機(jī)制來反復(fù)膨脹空腔，允許氣體從腔室流入，密封空腔，并將其排放到中。動(dòng)量傳遞泵，也稱為分子泵，使用高速稠密流體或高速旋轉(zhuǎn)葉片將氣體分子撞出腔室。誘捕泵捕獲固體或吸附狀態(tài)的氣體。這包括低溫泵，吸氣劑和離子泵。正排量泵對(duì)于低真空是有成效的。動(dòng)量傳輸泵與一個(gè)或兩個(gè)正排量泵配合使用是實(shí)現(xiàn)高真空的常見配置。在這種配置中，正排量泵有兩個(gè)目的。在動(dòng)量傳遞泵可用于獲得高真空之前，它在被抽空的容器中獲得粗真空，因?yàn)閯?dòng)量傳遞泵不能在壓下開始泵送。其次，正排量泵通過將真空泵中的置換分子的積聚抽空到低真空來支撐動(dòng)量傳遞泵?？梢蕴砑诱T捕泵以達(dá)到比較高真空，但是它們需要定期捕獲空氣分子或離子的表面。由于這種要求，它們在低真空和高真空中的可用操作時(shí)間可能短得令人無法接受，因此限制了它們在比較高高真空中的使用。